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中科院上海微系统与信息技术研究所完成THMS600冷热台安装和培训工作
发布时间：2017-11-17 18:29

中科院上海微系统与信息技术研究所采用THMS600冷热台，该冷热台配备LNP液氮冷却系统，ECP水循环系统，LINK控温软件，搭配Leica DM4000M 金相显微镜，主要研究半导体材料等，现已完成验收工作。
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