探针台主要为电性测量而设计。针尖镀金的探针可以连接在热台腔室内部的电极上,针座可以移动,保证针尖可以接触到热台上的任何一个区域。探针压在样品上的力度可以通过弹簧调整。
两种型号的探针台可以选择。LTS420-P主要为半导体器件的电性测量而设计。选择冷却系统,温度可以低到-196℃。
参数:
温度范围:-196到420℃ (-196℃需选择专用冷却系统)
全程温度精度/稳定性:0.1℃/<0.1℃
光孔直径:φ2.4mm
样品区域面积: 58x43mm
4个样品探针,2个LEMO接头(BNC接头可以提供)
加热速率: 0.1-30℃/min
超薄热台窗口:0.17mm
台体尺寸- 169 x 110 x 25.8 mm
最小物镜/聚光镜工作距离: 8.2/12.5mm
气密样品腔室,可充入保护性气体
滑动上盖易于样品导入
独立温度控制